21系列標準型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳 感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST 可溯源校準證書。 可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁 閥以及優(yōu)化的 PID 調(diào)校，可達到優(yōu)于100 ms 的控制速度，并保持穩(wěn) 定性，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。

產(chǎn)品特色

l數(shù)字化產(chǎn)品

l多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

l多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

l標配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板

l可選高精度：優(yōu)于0.5%

l可測范圍廣，0.01～100%滿量程

l響應(yīng)時間快，優(yōu)于100 ms

l內(nèi)置98種氣體

l可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

行業(yè)應(yīng)用

l大學(xué) / 研究所

l環(huán)境監(jiān)測

l真空行業(yè)及鍍膜

l工業(yè)爐窯

l半 導(dǎo) 體

l汽車制造

l光 伏

l燃料電池

l計量校準

l過程工藝氣體測量

精度升級（詳情可咨詢）

量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM， 其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標升級：

l質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取zui大值）

l質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取zui大值）

l重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

l質(zhì)量流量零點漂移 ± 0.01% 滿量程/℃溫差  ±0.01% 滿量程/Atm 壓力差

l質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀 數(shù)/℃溫差  ±0.1 % 讀 數(shù)/Atm 壓力差

標準型質(zhì)量流量控制器性能指標

l介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

l介質(zhì)種類內(nèi)置了98 種氣體，請參考背面，一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

l量 程 從 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM(詳情可咨詢銷售）

l測量和控制范圍    0.01~100% 滿量程

lzui大顯示流量   128%滿量程

lzui大可控流量   102.4%滿量程

l顯 示 屏   按鍵操作，標準為 LCD 黑白顯示屏（帶背光），可選 TFT 彩色顯示屏

l顯示方式   同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

l精 度    ±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級部分詳情可咨詢銷售

                ±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）

l累計流量精度 流量精度之外增加 ±0.5% 讀數(shù)的額外誤差

l重 復(fù) 性 ± 0.2 % 滿量程

l零點漂移 & 滿量程漂移 0.02 % 滿量程 / ℃ / Atm

l響應(yīng)時間   優(yōu)于 100 ms  

l預(yù)熱時間   ＜ 1 s 

l標定工況   25 ℃ & 1Atm（其它標況可調(diào)）

l工作溫度   -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至 100℃）

l溫度精度   ± 0.75 ℃  

l工作濕度   0 ~ 95 %，無冷凝

lzui大工作壓力   1 MPaG（可選 2 MPaG 高壓選項）

lzui低操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓 80 KPaA 以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

l壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞ 1Atm）或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）

l滿量程壓損 參考背面詳細壓損表

l數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號 40 Hz@19200 波特率；模擬信號：1000 Hz

l屏幕刷新頻率 10 Hz

l數(shù)字輸入 / 輸出信號 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、  EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232/RS485）

l模擬輸入 / 輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

l可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

l模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

l 供電電壓 7 - 30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15 - 30 VDC ）

l供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）

                   額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

l電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

l泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

l材 質(zhì) 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、黃銅、430FR不銹鋼、硅、玻璃

l過程連接 標準為NPT內(nèi)螺紋，詳情參考壓損表

l安裝方式 對位置無要求

l防護等級 IP40

l認 證 ISO 9001、NIST、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）

*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢