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傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。
RXJ-6030高分辨紅外光譜氣體純度分析儀主要用于電子特氣純度方面的檢測(cè)，高分辨紅外光譜氣體純度分析儀可以有效的檢測(cè)高純氣體的濃度和雜質(zhì)，方便使用者的研究和使用。
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